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实验供气系统使用安全注意事项

1.易1燃易1爆气体：此类气体只要形成了可燃气体爆1炸混合气和达到着火温度。便会发生燃烧爆1炸事故因此在可燃气体入口处、气体钢瓶存放间、洁净室

内使用可燃气体处、敷设可燃气体的管廊或技术夹层以及可能聚集可燃气体的场所均应设置可燃气体报警装置。具体要求如下：

①可燃气体比空气轻者，报警装置设置在所处场所的顶部。

②可燃气体比空气重者，报警装置设置在所处场所的***1低处。

③可燃气体的报警装置应与相应的事故排风装置设电气连锁，当空气中的可燃气体浓度达到规定值时，事故排风装置自动开启，同时向洁净厂房的消防安全值班室发出报警信号。

④为防止倒流回火应在用气设备的支管上设置阻火器，在排入大气的排气管道上，为防止排气时突遇雷电袭1击阻止火焰蔓延至可燃气体管道引发燃烧爆1炸事故，必须在排气管道上设置阻火器。

⑤可燃气体在适当的管道处应做接地，但接地电阻应符合相关规定。

⑥各种可燃气体管道系统均应设置能引入氮气等惰性气体的接口及相应的检测口，以便在可燃气体供应系统使用前后或检修动火前后对其系统进行吹扫置换，但是惰性气体吹扫接口在正常运行中不能与气体钢瓶或惰性气体管道相通，以避免影响气体质量。

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大宗特气供气系统介绍

大宗特气供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括4、3、NF3）、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，采用***1***的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出***严格的要求。有部分气体具有毒、强腐蚀等特性，其一旦泄漏，就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害。

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试验室集中供气系统的优点

针对过去使用中存在的问题，现代试验室对载气的使用环境进行了改革，即 “集中供气系统”，即将使用气体（以下简称载气）集中贮存，然后通过压差的原理将气体经过金属或其他材质管路送至用气点。其优点主要有以下几点：

1、首先解决气瓶的放置问题。气瓶间的位置如果可能尽量位于与试验室相对独立的房间，如果与试验室在同一大楼内，则气瓶间的位置要尽量位于人1流较少并且独立的房间，这种方式可使气瓶与工作人员及仪器完全隔离，即使有害气体有泄漏，也不会发生直接伤害。***1小可检漏率：是指采用某种检漏方法或仪器可能检测出来的***1小漏率。

2、其次气体混合的问题。将所有载气气瓶根据气体性质分别集中在一个气瓶间中与助燃气体分开存贮。

3、再次是解决气瓶压力的问题。每种气体可以将多瓶气体并联然后通过一个出口统一减压后运送气体至使用点。因为气瓶间是相对独立的，整个气路系统压力***1大的地方也是气瓶出口处，因此这种方式将气瓶压力可能发生的危险缩小至气瓶间内，可对人体及仪器的伤害可降到***1低。以上是由艾明坷科技有限公司发表内容，如有需要，欢迎新老客户莅临。

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