真空镀膜系统厂家诚信企业「艾明坷」

薄膜均匀性概念

1.厚度上的均匀性，也可以理解为粗糙度，在光学薄膜的尺度上看（也就是1/10波长作为单位，约为100A），真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。真空镀膜机真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。 但是如果是指原子层尺度上的均匀度，也就是说要实现10A甚至1A的表面平整，具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。

2.化学组分上的均匀性： 就是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性，SiTiO3薄膜，如果镀膜过程不科学，那么实际表面的组分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技术含量所在。以上是由艾明坷科技有限公司发表内容，如有需要，欢迎新老客户莅临。 具体因素也在下面给出。

以上内容由艾明坷为您提供，今天我们来分享的是薄膜均匀性概念的相关内容，希望对您有所帮助！

真空镀膜系统

工艺气体输入系统

工艺气体，如气(Ar)、气(Kr)、氮气(N2)、(C2H2)、(CH4)、氢气(H2)、氧气(O2)等，一般均由气瓶供应，经气体减压阀、气体截止阀、管路、气体流量计、电磁阀、压电阀，然后通入真空室。真空镀膜机适用范围1．建筑五金：卫浴五金（如水***）．门锁．门拉手．卫浴、五金合叶、家具等。这种气体输入系统的优点是，管路简捷、明快，维修或更换气瓶容易。各涂层机之间互不影响。也有多台涂层机共用一组气瓶的情况，这种情况在一些规模较大的涂层车间可能有机会看到。它的好处是，减少气瓶占用量，统一规划、统一布局。缺点是，由于接头增多，使漏气机会增加。而且，各涂层机之间会互相干扰，一台涂层机的管路漏气，有可能会影响到其他涂层机的产品质量。此外，更换气瓶时，必须保证所有机台都处于非用气状态。

真空镀膜工艺中的真空系统也并非单一的真空泵，而是为了获得镀膜工艺中所必须的真空度，就需要将不同的泵进行组合使用。1964年，采用离子镀方法在钛合金紧固件上镀铝，解决了飞机零件的“镉脆”问题。一般而言，该组合方式为机械泵、油扩散泵、无油泵组（分子泵、冷凝泵、钛扩散吸附泵）、管道阀门冷阱、真空室、冷却系统和真空测量。真空泵油雾过滤器主要用在旋片式机械泵上面，降低排气对空气产生的污染，在机械泵前也有必要安装空滤，防止空气中的杂质与粉尘进入泵内污染泵油或者造成零部件的磨损。