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手套箱故障分析

一、手套箱不断抽真空

1. 过渡舱舱门未关严；

2. 脚踏是否被东西压住；

3. 电磁阀块上<净化柱抽气阀>是否被杂质卡住；

4. 电磁阀块上<箱体抽气阀>是否被杂质卡住。

二、手套箱用气量增大

1. 在从工作气气源到设备的管路有泄漏，气源处钢瓶口漏气、阀块上进气管接口漏气；

2. 高真空挡板阀气体泄漏；

3. 高真空挡板阀的压力管出现漏气，依次检查。

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超级电容手套箱

电极材料是超级电容器的重要组成部分，是影响超级电容器性能和生产成 本的关键因素。当前研究和应用为广泛的超级电容器电极材料是碳材料，主 要包括活性炭、活性炭纤维、碳纳米管和石墨烯等。其中，活性炭材料由于具 有稳定的使用寿命、低廉的价格及大规模的工业化生产基础，在目前的超级电容器产品中被广泛采用。检查设备是否有溶剂过滤系统，观察与溶剂过滤系统有关的蝶阀开启是否正确。

然而，活性炭材料比较容易被氧化，从而导致碳基超级电容器内阻较大， 高频特性差。虽然有部分制造商在单一工序采用了真空处理设备，但在多个制备工序以 及在从一道工序转移到下一道工序的过程中，仍然在大气环境中进行，氧气和 水份的问题仍然存在，严重地制约了超级电容器实现高能量、高功率密度。因此，寻求一种优异的手套箱净化再生系统，使得再生工艺中净化材料加热时更加均匀，还原更加***，提升净化再生体系效能是整个行业迫切需要解决的问题。

针对上述超级电容器制备过程中电极 容易氧化的问题，艾明坷提供一种可防止器件氧化的超级电容手套箱。由烘箱（两台以上）、手套箱（包括冷却舱、箱体和出料舱）组成，有冷却舱强制降温，可大大提高生产效率，一台手套箱可供多台烘箱使用，降低设备成本。

手套箱在OLED器件制作过程中的应用

OLED，即有机发光二极管（Organic Light-Emitting Diode），是一种全新的显示技术。与LCD相比，可视角度宽（大于170°）、响应时间快（LCD的千分之一）、低温特性好（在零下40度正常显示）、低功耗等优点，被业界广泛看好成为下一代显示技术，现在已广泛应用于车载显示器、手机显示屏等等。并且随着OLED技术发展，白光OLED在照明领域也开始崭露头角，尤其在城市照明、广告牌等行业被寄予非常高期望。广泛应用于无水、无氧、无尘的超纯环境，如：锂离子电池及材料、半导体、超级电容、特种灯、激光焊接、钎焊、材料合成、OLED、MOCVD等。

通常所说OLED其实包含小分子OLED和高分子OLED（也称PLED）两种。小分子OLED和高分子OLED的差异主要表现在器件的制备工艺不同：小分子器件主要采用真空热蒸发成膜工艺，高分子器件则采用旋转涂覆或喷涂印刷成膜工艺。

OLED器件的制备工艺大致包括：ITO玻璃清洗→光刻→再清洗→前处理→真空蒸镀有机层→真空蒸镀背电极→真空蒸镀保护层→封装→切割→测试→模块组装→产品检验等十几道工序

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