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发布时间:2020-10-23 10:25:00 作者:艾明坷
真空镀膜技术的应用领域
1.在装饰品方面
随着经济的发展和生活水平的提高,人们喜欢将手表壳、表带、服饰、灯饰、眼镜架、室内外装饰件、五金箱包、手机壳、手机视屏、卫生洁具、食品包装等装饰品精饰得五彩缤纷。
2.在刀具、模具等金属切削加工工具方面
在生活中,我们会看到金黄色的、钴铜色的、黑色的等七杂八色的钻头、铣刀、模具等,这些就是经过镀膜技术加工后的涂层工具。
(1)金黄色的,是在刀具上涂镀了TiN、ZrN涂层,TiN是代应用广泛的硬质层材料。
(2)黑色的,是在切削工具上涂了TiC、CrN涂层。
(3)钴铜色的,是在刀具上镀涂了TiALN涂层。
3.在建筑玻璃和汽车玻璃上
建筑玻璃有透光和隔热两个基本功能。
普通玻璃能透过绝大部分太阳光辐射能量,这对采光和吸收太阳光线的能量十分有利。而对于空间红外辐射,普通玻璃虽能阻止室内的热量直接透过室外,但热量被玻璃吸收后的二次散热也会造成很大的损失。
随着经济的发展,普通玻璃已越来越不能满足人们的要求,而阳光控制膜和低辐射膜正好能弥补了普通玻璃在这一方面的不足。第五,掌握检漏仪器的反应时刻和消除时刻,把时刻掌握好,确保检漏仪器作业到位,时刻少了,检漏作用必定差,时刻长了,糟蹋检漏气体和人工电费。阳光控制膜可以满足低纬度地区降低室内温度的要求;而低辐射膜则能满足高纬度地区充分接受太阳辐射能量和1大限度阻止室内热量外流的要求。
在玻璃上,镀涂一层TiO2就能使其变成防雾、防露和自清洁玻璃,这种工艺在汽车玻璃上有很好的应用。
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真空镀膜机的真空室设计方法
真空镀膜技术是在真空条件下采用物理或者化学方法,使物体表面获取所需膜体,真空镀膜技术根据其采用方法的不同科分成蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积以及分子束外延等,这次分析的镀膜设备采用的是磁控溅射镀膜。
真空室是真空设备的一个主要组成部位,真空镀膜设备真空室设计主要考虑的就是密封性和可靠性,结构必须要合理,真空设备的材料生产都是在真空室内进行的,材料对真空度的影响要小,设计不能马虎,要注意一些问题。
使用磁控溅射的真空镀膜机一般采用的是圆筒主体结构,结构上要保证快速抽空,因气袋会缓慢的放气,因此要避免出现隔离孔穴,真空系统上端会加装磁控溅射***,为了使真空室和元件有足够的强度,保证在外部和内部的作用力下不产生形状的变化,厚度需要足够。
焊接是真空室制造中的一道关键工序,保证焊接之后的真空室不会产生漏气现象,须合理设计焊接结构,提高焊接质量,处在超高真空的内壁粗糙度要抛光使室外室内表面很光洁,须特别注意的是需做好防止生锈的措施。
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真空镀膜设备真空泵的选择
真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
真空镀膜机检漏
要承认漏气究竟的虚漏仍是实漏,因为工件资料加热后都会在不同程度上发生气体,有也许误以为是从外部流进的气体,这即是虚漏,要扫除这种状况。
第二,测验好真空室的气体密封功能,确保气密功能符合要求。
第三,查看漏孔的巨细,形状、方位,漏气的速度,制备出可处理方案并施行。
第四,断定检查仪器的1小可检漏率和检漏灵敏性,以1大规模的检查出漏气状况,防止一些漏孔被疏忽,进步检漏的准确性。
第五,掌握检漏仪器的反应时刻和消除时刻,把时刻掌握好,确保检漏仪器作业到位,时刻少了,检漏作用必定差,时刻长了,糟蹋检漏气体和人工电费。
第六,还要防止漏孔阻塞,有时因为操作失误,检漏过程中,一些尘埃或液体等把漏孔阻塞了,以为在该方位没有漏孔,但当这些阻塞物因为内外压强区别进步或别的缘由使漏孔不堵了,那漏气仍是存在的。
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