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电子特气系统的维护

由于特气系统是一种具有高风险的供应系统，因此在生产线现场的维护需要***、有经验的技术员完成。特气系统的维护主要包含气体柜维护和管路维护。

（1）特气柜又分为全自动特气柜与半自动特气柜，每种气柜的维护方法有一定的区别。全自动气柜维护自动化程度较高，并且***。在维护前关闭钢瓶阀门，设置换瓶吹扫，程序自动进行抽气，置换等动作，根据气体性质的不同，一般至少吹扫60次以上，负压保压30分钟以上，确保气柜各管路与阀门吹扫干净。以上内容由艾明坷为您提供，今天我们来分享的是高纯供气系统的相关内容，希望对您有所帮助。

（2）管路的维护，由于不同的气体性质不一样，对管路维护的方法也不相同，对腐蚀性气体的管道需要多次用高纯氮气吹扫（N2purge），一般至少反复30次，对于有吸附性的液态源气体，由于管路容易堵塞，需要多次的反复的抽真空，抽完后关闭阀门，1小时后会出现压力表回表的现象，会造成管道泄漏的误导，遇到此情况打开真空器发生器继续抽，直到没有吸附气体释放为止。特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。

以上两种系统维护后都必须做正压与负压的保压测试，一般正压保压压力为使用压力的1.2倍，负压保压为-12PSI，保压时间至少120分钟以上，由于压力传感器（PT）受温度的影响，一般有2PSI的正负波动。

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特气系统知识分享：标准气体

所谓标准气体就是用来校正测量仪器、评价测定方法、给出未知样品气标准值的气体。它分为调整零位用标准气体(零位气体)、监测环境用标准气、工业分析用标准气体、医1疗仪器用标准气体、可燃性气体泄漏用标准气体、燃烧器尾气用标准气体六大类。由于使用了标准气,所以即使在不同场所测定,也具有相同测定值。特气系统知识分享：一般混合气体由两种以上气体混合配制而成的气体,而且主要标出大致浓度,即可满足使用要求,这种气体称为一般混合气体。

标准气体应用范围很广,在化工、石油冶金、机械、航天、电子、陶瓷、汽车、光纤、激光、潜水、环保、切割、焊接、食品加工等工业部门均使用大量的常用气体和特种气体。其中在石油化工领域对标准气体的需求量相对较大。

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试验室供气需求

目前大多数试验室中的各种分析仪器如气相色谱仪、气相色谱质谱仪、液相色谱质谱仪、原子吸收分光光度计、原子荧光光度计、等离子发射光谱仪、电感耦合等离子质谱仪等都需要连续使用高纯载气和燃气，因此试验室的安全、连续、稳定运行需要我们考虑如何将这些气体供到各试验室中放置的分析仪器。使用气体前应按要求将合格的减压阀连接到气瓶上，并清洁连接软管。

氦质谱检漏仪

真空检漏的方法很多，氦质谱检漏仪的使用大大提升了检漏工作效率。

漏孔是指真空器壁上存在的形状不定、极其微小的空洞或间隙。大气通过其进入真空系统或容器中；

漏率（漏气速率）：是指单位时间内通过漏孔或间隙流入到真空系统或容器的气体量；

1小可检漏率：是指采用某种检漏方法或仪器可能检测出来的1小漏率；

检漏灵敏度：也叫有效灵敏度，指检漏仪器在1佳工作状态下能检出的1小漏率；

反应时间：也称响应时间，是指从检漏方法开始实施（如喷射示漏气体）到指示方法或仪器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%时所需要的时间；

消除时间：是指从检漏方法停止（如停止喷吹示漏气体）到指示方法或仪器指示值下降到漏孔泄漏率的37%时所需的时间；

漏孔堵塞现象：指由于真空检漏作业操作不当导致尘埃或液体堵塞漏孔，检漏时似乎不漏气，但一经排气就会出现漏气的一种现象。