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发布时间:2020-11-17 14:16:00 作者:艾明坷
试验室集中供气系统的优点
针对过去使用中存在的问题,现代试验室对载气的使用环境进行了改革,即 “集中供气系统”,即将使用气体(以下简称载气)集中贮存,然后通过压差的原理将气体经过金属或其他材质管路送至用气点。其优点主要有以下几点:
1、首先解决气瓶的放置问题。电子特气管道系统氦检漏检测规定1、氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪,其检测精度不得低于1*10-10mbar*l/s。气瓶间的位置如果可能尽量位于与试验室相对独立的房间,如果与试验室在同一大楼内,则气瓶间的位置要尽量位于人1流较少并且独立的房间,这种方式可使气瓶与工作人员及仪器完全隔离,即使有害气体有泄漏,也不会发生直接伤害。
2、其次气体混合的问题。将所有载气气瓶根据气体性质分别集中在一个气瓶间中与助燃气体分开存贮。
3、再次是解决气瓶压力的问题。每种气体可以将多瓶气体并联然后通过一个出口统一减压后运送气体至使用点。氦质谱检漏仪真空检漏的方法很多,氦质谱检漏仪的使用大大提升了检漏工作效率。因为气瓶间是相对独立的,整个气路系统压力1大的地方也是气瓶出口处,因此这种方式将气瓶压力可能发生的危险缩小至气瓶间内,可对人体及仪器的伤害可降到1低。
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氦质谱检漏仪
真空检漏的方法很多,氦质谱检漏仪的使用大大提升了检漏工作效率。
漏孔是指真空器壁上存在的形状不定、极其微小的空洞或间隙。大气通过其进入真空系统或容器中;
漏率(漏气速率):是指单位时间内通过漏孔或间隙流入到真空系统或容器的气体量;
1小可检漏率:是指采用某种检漏方法或仪器可能检测出来的1小漏率;
检漏灵敏度:也叫有效灵敏度,指检漏仪器在1佳工作状态下能检出的1小漏率;
反应时间:也称响应时间,是指从检漏方法开始实施(如喷射示漏气体)到指示方法或仪器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%时所需要的时间;
消除时间:是指从检漏方法停止(如停止喷吹示漏气体)到指示方法或仪器指示值下降到漏孔泄漏率的37%时所需的时间;
漏孔堵塞现象:指由于真空检漏作业操作不当导致尘埃或液体堵塞漏孔,检漏时似乎不漏气,但一经排气就会出现漏气的一种现象。
实验室气体管道设计要求
了解实验室设计的都知道:实验室的任何的设计都是有规格要求的,出了这个要求的范围那么实验室的设计就有漏洞,就不合格,就容易发生事故。标准气体应用范围很广,在化工、石油冶金、机械、航天、电子、陶瓷、汽车、光纤、激光、潜水、环保、切割、焊接、食品加工等工业部门均使用大量的常用气体和特种气体。实验室的气体的排放是非常重要的,如果说实验室气体管道设计不合理,工作人员就容易出事,甚至严重的就会有生命危险。
高纯气体的输送管路系统
随着微电子工业的发展,超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求极为严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。4、压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置,此净化装置需要并联一路,用单独的阀门隔离,以方便对过滤装置进行维修。
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