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发布时间:2020-11-27 19:46:00 作者:艾明坷
气体管路控制系统作用
主要由气源切换系统、管道系统、调压系统、用气点、监控及报警系统组成。对于一些易1燃易1爆气体,如氢气等,可能在设计和施工过程中稍有差异,必须加入气体回火防止器等安全控制装置。
阀门是在流体系统中,用来控制流体的方向、压力、流量的装置,是使配管和设备内的介质(液体、气体、粉末)流动或停止并能控制其流量的装置。阀门是管路流体输送系统中控制部件,用来改变通路断面和介质流动
方向,具有导流、截止、节流、止回、分流或溢流卸压等功能。
气体管路控制系统可以用于管理控制气体供应,包括流量,压力,开关等,同时带有泄漏报警1灯功能,能够有效保护用气安全。
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试验室集中供气系统的特点
1、特点:试验室要求使用载气流量恒定、气体纯度高,为试验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的气体。
2、经济性:建一个集中的气瓶间可以节省有限的试验室空间,更换气瓶时不需要切断气体,保证气体的连续供应。具体要求如下:①可燃气体比空气轻者,报警装置设置在所处场所的顶部。使用者只需管理较少的气瓶,支付较少的气瓶租金,因为使用同一气体的所有使用点来自于同一个气源。此种供应方式终会减少运输费用,减少退还给气体公司的空瓶中的余气量,以及良好的气瓶管理。
3、使用率:集中管道供应系统可以将气体出口放置在使用点处,这样的话可以更合理的设计工作场所。
4、安全性:保证其储存和使用的安全性。保障分析测试人员在实验中免受有毒有害气体的侵害。
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氦质谱检漏仪
真空检漏的方法很多,氦质谱检漏仪的使用大大提升了检漏工作效率。
漏孔是指真空器壁上存在的形状不定、极其微小的空洞或间隙。大气通过其进入真空系统或容器中;
漏率(漏气速率):是指单位时间内通过漏孔或间隙流入到真空系统或容器的气体量;
1小可检漏率:是指采用某种检漏方法或仪器可能检测出来的1小漏率;
检漏灵敏度:也叫有效灵敏度,指检漏仪器在1佳工作状态下能检出的1小漏率;
反应时间:也称响应时间,是指从检漏方法开始实施(如喷射示漏气体)到指示方法或仪器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%时所需要的时间;
消除时间:是指从检漏方法停止(如停止喷吹示漏气体)到指示方法或仪器指示值下降到漏孔泄漏率的37%时所需的时间;
漏孔堵塞现象:指由于真空检漏作业操作不当导致尘埃或液体堵塞漏孔,检漏时似乎不漏气,但一经排气就会出现漏气的一种现象。
高纯气体的输送管路系统
随着微电子工业的发展,超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求极为严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。
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