高纯供气系统报价服务介绍 艾明坷

电子特气管道系统氦检漏方法

特气系统气体管道氦检漏的顺序宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。

1、内向检漏法(喷氦法)采用管道内部抽真空，外部喷氦气的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

2、阀座检漏法采用阀门上游充氦气，下游抽真空的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

3、外向检漏法(吸***法)应采用管路内部充氦气或氦氮混合气，外部应采用吸***检查漏点的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

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小流量气体净化系统

高纯供气系统主要应用于钢瓶气、管道气及气体发生器等的高纯连续供气，应用于超微量水、氧分析仪、气相色谱仪、常压离子质谱仪等各类气体分析仪器纯化载气或零点气，也可用于超高纯度气体管道安装施工中的吹扫气体，更可以为半导体工艺设备提供超高纯的工艺气体。高纯气体的输送管路系统随着微电子工业的发展，超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大，要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高，对气体中杂质和露1点要求极为严格，需要达到ppb、ppt级，尘埃粒径求控制小于0。

气体净化系统根据需求采用常温或者高温吸附剂，电化学抛光316L不锈钢管件，出气口配置微米过滤器，其气体纯化指标达到各项杂质含量小于1ppb的世界***水平。

气体配比仪采用质量流量计，电化学抛光316L不锈钢管件，双卡套或者VCR气体接头。

高纯供气系统

实验室集中供气系统比单独钢瓶供气模式有着较多的优势，越来越多的实验室建设者、工作者、管理者对实验室集中供气系统的使用已形成共识，采用集中供气作为实验室供气模式的主流设计方案得到广泛认可。3、使用率：集中管道供应系统可以将气体出口放置在使用点处，这样的话可以更合理的设计工作场所。实验室集中供气的设计应符合相关标准和规程的要求，保证实验室供气的稳定性、持续性和安全性。

随着信息技术的快速发展，信息化在实验中心安全环保领域得到广泛应用。根据行业规范,对特气房选址、安全间距、防火分区、房间通风、电气防爆等进行评估。首先购置智能化门禁系统和中央集成的监控系统，对实验中心安全环保实行全过程监控管理; 其次以生物学虚拟实验教学中心为依托，大力加强虚拟实验教学资源建设，以虚拟实验代替涉及高危或环境、高成本、高消耗的实验项目，既体现了安全环保的绿色理念，又提高了安全环保的信息化水平。