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发布时间:2022-02-28 05:06:00 作者:艾明坷
特种气体的应用
电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。电子行业常用的特气超过三十余种,按危险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。④为防止倒流回火应在用气设备的支管上设置阻火器,在排入大气的排气管道上,为防止排气时突遇雷电袭1击阻止火焰蔓延至可燃气体管道引发燃烧爆1炸事故,必须在排气管道上设置阻火器。
特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。
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试验室供气需求
目前大多数试验室中的各种分析仪器如气相色谱仪、气相色谱质谱仪、液相色谱质谱仪、原子吸收分光光度计、原子荧光光度计、等离子发射光谱仪、电感耦合等离子质谱仪等都需要连续使用高纯载气和燃气,因此试验室的安全、连续、稳定运行需要我们考虑如何将这些气体供到各试验室中放置的分析仪器。将所有载气气瓶根据气体性质分别集中在一个气瓶间中与助燃气体分开存贮。
高纯供气系统
供气系统的连接应符合 GB 50236-2011《现场设备、工业管道焊接工程施工规范》等标准的要求[11]。管道的连接应采用法兰连接或焊接等方法,氢气管道不应使用丝扣连接; 高纯气体管道应采用承插焊接; 气体管道与设备、阀门与管道或管件的连接应采用丝扣或法兰连接; 丝扣接头中的填料应采用聚四氟乙烯膜、一氧化铅、甘油调合填料; 对于高纯气体管道与阀件的连接应采用高压双卡套接头连接。氦质谱检漏仪真空检漏的方法很多,氦质谱检漏仪的使用大大提升了检漏工作效率。
气瓶柜的技术要求为铝型35×35框架,柜门、侧板采用金属冷轧板,均用环氧树脂粉沫喷涂,内设可活动的气瓶抱箍,便于气瓶的更换和移动。地脚为不锈钢螺丝、尼龙罩盖、橡胶底座组合结构,可调节高度为0—0.3m。配置了气体泄漏报警、温度数字指示、气体泄露时自动排放。具有防爆、阻燃等功能。实验室应按照房间大小比例设计相应数量带逆风阀的换气扇,使空气流通顺畅,保持清洁。特种气体钢瓶在运输和储存的注意事项由于特种气体产品的潜在危险性,如氧气遇油脂着火,气瓶倒下使阀门拆断引起飞瓶,惰性气体引起窒息等等。每个房间都要设计带有过滤装置的通气孔,如果是带有室内走廊的房间也可在门窗上设百叶窗,尺寸按照排气量比例关系计算。
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