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发布时间：2022-03-09 03:59:00 作者：艾明坷
大宗特气供气系统介绍
大宗特气供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括4、3、NF3）、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。氦质谱检漏仪真空检漏的方法很多，氦质谱检漏仪的使用大大提升了检漏工作效率。它们的投资规模巨大，采用1***的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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电子特气管道系统氦检漏方法
特气系统气体管道氦检漏的顺序宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。
1、内向检漏法(喷氦法)采用管道内部抽真空，外部喷氦气的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。
2、阀座检漏法采用阀门上游充氦气，下游抽真空的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。
3、外向检漏法(吸***法)应采用管路内部充氦气或氦氮混合气，外部应采用吸***检查漏点的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。
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高纯供气系统
保证气体纯度。通过大型的储罐( 液压) 和输送管道将载气输送给仪器，在储罐出口安装有单向阀，可避免更换储罐时空气或水分混入，另外，还可在高压段之后安装有泄压开关球阀，将多余的空气或水分排放，从而保证气体的纯度。
安全性提高。但是考虑安全和效率因素，不考虑经济性因素，集中供气系统是比较优1秀的方式。一般瓶装气体的充气压力大于或等于 14MPa/cm2，集中供气可根据需要降低系统压力，而且远离实验区域，提高了使用的安全性。另外，集中供气可将空气压缩机安放在供气室内，减少压缩机产生电火花带来的安全隐患，并可避免噪音对实验室的干扰。
改善工作环境。实验室内钢瓶、空压机等供气源的取消减少了占地面积，便于实验室设备和设施的布置，避免了其与实验室操作人员在一处造成的混乱和不便。
降低运行成本。集中供气系统可采用储气量较大的液态储罐供气，可大大节省采购成本，减少更换气瓶、气罐的频次，节省劳动成本，减轻了维护人员的劳动强度，便于管理、维修和保养。
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