北京真空镀膜多少钱

真空镀膜系统

机械泵的目的是为了获得低真空，通过机械方法改变泵内吸气空腔的体积，使得被抽容器内的体积不断膨胀，从而获得粗真空，旋片式真空泵由转子、定子和旋片等结构构成，其中，定子在油箱中，油起到润滑的目的，挥发的油经由排气口排出，经过真空泵油雾过滤器过滤，油雾颗粒被过滤器，过滤后可实现再利用。镀膜工艺由多种不同的泵组合原因就是为了获得高真空，因此第二步就是油扩散泵，之所以要在油扩散泵前安装机械泵，是因为油扩散泵不能直接在大气压下工作，需要一定的预备真空度。油扩散泵获得真空的方法主要是油的蒸汽压与气体分子的反扩散，为了防止油扩散泵返油就需要使用的泵以及有效的冷阱，大型镀膜机使用更有效的高真空组合。

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离子蒸发及溅射源

多弧镀的蒸发源一般为圆饼形，俗称圆饼靶，也有长方形的多弧靶。靶座中装有磁铁，通过前后移动磁铁，改变磁场强度，可调整弧斑移动速度及轨迹。为了降低靶及靶座的温度，要给靶座不断通入冷却水。为了保证靶与靶座之间的高导电、导热性，还可以在靶与靶座之间加锡垫片。磁控溅射镀膜一般采用长方形或圆柱形溅射阴极。

常见的真空镀膜材料

氧化物一氧化硅SiO，二氧化硅SiO2，二氧化钛TiO2，二氧化锆ZrO2，二氧化铪HfO2，一氧化钛TiO，真空镀膜多少钱，五氧化三钛Ti3O5，五氧化二铌Nb2O5，五氧化二钽Ta2O5，氧化钇Y2O3，氧化锌ZnO等高纯氧化物镀膜材料。

其它化合物硫化锌ZnS，硒化锌ZnSe，氮化钛TiN，碳化硅SiC，钛酸镧LaTiO3，钛酸钡BaTiO3，钛酸锶SrTiO3，钛酸镨PrTiO3，硫1化镉CdS等真空镀膜材料。

金属镀膜材料高纯铝Al，高纯铜Cu，高纯钛Ti，高纯硅Si，高纯金Au，高纯银Ag，高纯铟In，高纯镁Mg，高纯锌Zn，高纯铂Pt，高纯锗Ge，高纯镍Ni，高纯金Au，金锗合金AuGe，金镍合金AuNi，镍铬合金NiCr，钛铝合金TiAl，锌铝合金ZnAl，铝硅合金AlSi等金属镀膜材料。

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