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特种气体的应用

电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业，由于所用气体的品种多、质量要求高，为有别于其它领域应用的气体，人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体，它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。电子行业常用的特气超过三十余种，按危险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。

特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域，其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体，其中常用的有20～30种。

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高纯供气系统

1、净化剂则采用了世界的净化材料。其特点有吸附深度好，吸收杂质气体量大的特点，纯度可达99.9999%以上;

2、净化器采用特殊结构和装料方法，流速设计合理，气流分布均匀;

3、内外精拉管管路。采用进口卡套式球阀。了气体流经管路的再次污染，一次安装终身使用，高纯供气报价，真正做到零泄漏及无故障运行。

4、双式结构，开机后一组工作，另一组再生、备用，而且RZ-YA-C系列半自动纯化装置工作和再生都自动进行，故能够连续供气，一台能顶单式的两台使用。

气净化设备

第I种

直接脱氧法。就是使用活性金属、催化剂与气中的氧气进行反应，消化掉气中的氧气，从而达到脱氧的目的，经过分子筛吸收掉气中的水份，使气的含水量小于1ppm。

第II种

是采用吸气剂。在一定温度下，吸气剂可吸收氮、氢、氧、、二氧化碳、等气体经吸收处理后，气的纯度可达到6个九，这种工艺生产出来的高纯气体适用于各类仪器仪表适用要求。

第I种方法设备投资小，第II种方法设备纯化纯度高但投资相对较大。